勝科納米取得一種晶圓中心定位裝置及晶圓檢測設備專利，能夠精準得到大尺寸晶圓的中心

金融界 2024 年 8 月 9 日消息，天眼查知識產權信息顯示，勝科納米（蘇州）股份有限公司取得一項名爲“一種晶圓中心定位裝置及晶圓檢測設備“，授權公告號 CN221486466U，申請日期爲 2023 年 12 月。

專利摘要顯示，本實用新型屬於晶圓治具技術領域，提出一種晶圓中心定位裝置及晶圓檢測設備，晶圓中心定位裝置包括承載部、限位部及導向部，承載部承載大尺寸的晶圓；限位部設置於承載部，並且朝向晶圓的一側具有弧度，弧度與晶圓的周向側壁適配；導向部設置於承載部，並且與限位部連接，導向部的長度方向穿過弧度所對應的圓心。本實用新型中將晶圓放置於真空吸附部，並且使晶圓承載於承載部，通過設置的承載部能夠提高大尺寸的晶圓放置於真空吸附部時的穩定性。隨後使晶圓的缺口與導向部相對設置，通過檢測模組定位缺口的位置，控制檢測模組沿導向部的長度方向移動預設長度，從而能夠精準得到大尺寸的晶圓的中心。

本文源自：金融界

作者：情報員