而且當年瑞星科技公司剛開始研發雙工件臺系統的時候也是通過外交渠道邀請過霓虹國康尼株式會社的社長來華興科技集團公司這邊訪問,當時這位社長還當着何玉光等人的面說過這麼一句話:“光刻機光學系統雖然很難,我相信你們能夠研製出來,但工件臺你們恐怕是拿不下來的,因爲這個系統太複雜了。”
而且康尼精機方面也是不願意向瑞星科技公司公司提供零部件的,更願意賣整機。
後來瑞星科技公司也是靠着華興科技集團公司和楊傑的關係網得到了各種技術專利和人才資源,一邊緊盯着海外光刻機的技術動向一邊自己埋頭苦幹,一開始搞出來的光刻機確實是整體性能不怎麼樣,但是中晶微和華越電子集團和華晶都是批量購買,而瑞星科技公司公司也是直接派出技術人員守在晶圓廠隨時解決問題和收集各種數據,逐步地讓自己的產品設備改進完善。
瑞星科技公司剛開始的時候並不追求光刻機在所有方面性能卓越,強調的是可靠穩定,一開始的時候得不到氟化氪和氟化氬這些激光光源就用技術已經非常成熟的汞燈光源設備結合浸入式光刻技術開始起步。
當年瑞星科技公司公司全力攻克的是沉浸式光刻機的浸液系統,並在這個系統上面掌握了大量的技術專利,這個也成了瑞星科技公司殺手鐗一般的武器。
而瑞星科技公司在這個基礎上也是不斷地在其他關鍵系統上進行研發,尤其是在雙工件臺系統上進步非常快,這個也是得益於華興科技集團公司自己本身在超精密數控機牀技術上進展非常快,不僅做出了滿足90納米光刻需要的工件臺,針對28至65納米光刻配套的雙工件臺也也是搞了出來,現在連28納米到10納米光刻機配套的雙工件臺也是研製出來,並且進行了大量的測試驗證。
經過這麼幾輪產品的技術迭代,瑞星科技公司公司的光刻機其實在05年到07年間推出的產品整體性能就全面上來了。
尤其是這幾年華興科技集團公司的衆多的技術成果開始涌現,再次將瑞星科技公司的產品技術推到了一個更高的高度。
瑞星科技公司公司現在光刻機產品線也是十分豐富,低端的產品主要還是以i線光刻光源爲主,用來加工非關鍵性和比較大的電路結構,也能爲45納米量產提供精確的套刻,主要用來加工存儲芯片、圖像傳感器、微機械芯片等大量芯片。
中高端光刻機產品主要是以氟化氪和氟化氬光源設備爲主,這些設備主要是用來用來製造最小和中等尺寸的芯片電路結構,這種更短的波長能刻印40以下的納米電路結構。
一般而言,芯片的掩模層數最多達30或40層,因此中晶微在內的這些芯片製造商生產芯片時,通常會同時用到這三種設備。
氟化氪和氟化氬光源是瑞星科技公司向科學院光電研究院進行訂購的,雙方之間的合作很早就開始了,到現在科學院光電研究院已經能夠批量生產高性能的這兩種光源。
而在極紫外光光源上瑞星科技公司還是自行研製設計爲主,到現在也是終於將這套光源給搞定了。
瑞星科技公司公司在國內挑選產品子系統供應商主要還是以國內的這些科研研所和高校的課題實驗室爲主,甚至主動地向這些科研院所提供設備和資金的支持來進行扶持。
因爲楊傑本人在科技界有着雄厚的人脈資本,再加上羅秉桓和李開元以及李力持和薛嶽東等中央首長的支持,這些項目也是推動很快,差不多用了六七年時間就完全弄出了一套完整的產業鏈。
等到國外的這些半導體設備產商回過神來的時候瑞星科技公司已經是成了氣候,進入了光刻機市場領域的第二梯隊,能夠自行設計研製生產出光刻機,也是跟艾斯摩爾和康尼和農佳集團公司在這個細分市場展開了長達六年多的混戰。
因爲瑞星科技公司公司在沉浸式光刻機這個領域非常具有技術優勢,到現在爲止基本上是將霓虹國國內的兩家生產光刻機的公司在這一塊的業務給打殘了。
當年瑞星科技公司公司在推出第一代的光刻機後,海外衆多的供應商就默契地進行了關鍵元器件的禁運,不過楊傑早就讓公司開始就存了很多庫存,而且也是很早就開始了國產化替代。
瑞星科技公司公司國產化的低端光刻機迅速地投入到技術含量較低的後道封裝和液晶面板刻蝕等領域,在這些領域霸佔了國內絕大部分的市場。
雖然在IC製造領域的光刻機瑞星科技公司整體性能不是很好,但是也能用,因爲華興科技集團公司跟國內的幾大晶圓廠是綁在一起的,海外這些半導體產商要想進來基本上都是要華興科技集團公司同意的。
楊傑也是逼着這些半導體設備產商向瑞星科技公司提供零部件,當然這些零部件還是由瑞星科技公司公司自主設計研發,也是保證了瑞星科技公司公司中高端光刻機設備上自始至終始終保有一定的市場份額。
現在瑞星科技終於是攻克了極紫外光刻機,並且投入了實用化,率先進入了光刻機的第一梯隊,而且目前也只有瑞星科技公司這麼一家公司能夠自主地生產出來。
何玉光哪裡會肯讓康尼精機這邊來共享公司這種最高端光刻機的技術。
想什麼呢,我們辛辛苦苦地搞出來的技術成果讓你們共享?康尼精機將自己的光刻機業務賣給我們還差不多!
何玉光的是想壟斷高端光刻機市場,中端市場他也是想吃掉,至於其他光刻機產商是死是活他並不在意。
聽到何玉光的話,山口高三臉上也是露出焦急的神色:“何先生,你知道我們一直在研發極紫外光刻機技術,我們也是有很多這方面技術專利的……”