雲帝笑了笑,拿着煙的手指點了點那本工作證。
程進有些無奈了。
看個毛線!
難道工作證裡面卿雲級別比蕭雅更高?
那他倒是會懷疑這個工作證是不是假的了。
畢竟高校也是體制,這裡面有擢升,比如他,年紀輕輕便做了二級學院的院長。
但擢升也是有年齡限制的。
但我們會獲得寶貴的追上乃至趕超的時間。
到了歐羅巴,反而不好說。
特麼的,要從這個角度說,確實沒啥差距。
卿雲見狀也只能無奈的聳了聳肩膀,“科研是科研的事,但作爲一個企業家,我告訴你,我肯定選容易的。
07年我們便達到了90nm,只是光學系統拉胯,別人見你做出來了,直接不賣配件讓我們沒法量產,直到十年後才解決。
這和他又有什麼關係呢?
君子喻以義。
而光刻膠就更扯了。
事實上從戰爭打響,科益虹源臨危受命,到首臺高能準分子激光器順利出貨,只花了11個月。
畢竟,前世的程進,毫髮無傷。
2020年半導體光刻膠國產化率0%,2021年1%,2022年7%,2023年13%。
看着他臉上的遲疑,雲帝也是無語了,不耐煩的說着,
黑到至極便是白?
程進搖了搖頭,如卿雲所願的一般,打開了工作證。
而走乾式157nm,他們還需要從現在的130nm開始,連續走好幾代才能達到65nm水平。
不出所料,他呆住了。
程進聞言愣住了。他並不是一個純粹的科研人員。
說罷,他將手伸出窗外比了一個手勢。
而光刻膠達到下游客戶要求的技術指標後,還需要通過2至3年的驗證測試,因此光刻膠具有較高的客戶壁壘,導入時間過長。
現在的路徑一共四大陣營,尼康佔主導的157nm激光、因特爾BMD摩托騾拉聯合的13.5nmEUVLLC、NEC託西巴NTT和IBM聯合的1nm接近式X光、朗訊貝爾實驗室高的0.004nmEPL和0.00005nmIPL。
作爲商人來說,197nm浸入式立刻可以實現65nm的生產,將現在130nm工藝直接提到半週期。
在他看來,這太不可思議了。
望着這便宜弟子訕訕的模樣,他哈哈一聲,“放心,不會找你的。”
而EUV太超前,短期內根本無法實現。
聽懂了的程進,雖然心裡還是沒法完全贊同卿雲的看法,但是……
贏得了市場,贏得了迭代的機會。
他想了想,還是耐心說道,“老師,您知道,我是一個商人。所以我習慣用商業的角度來看待問題。”
卿雲笑了,他懶得和程進扯什麼科學英雄史觀的問題,更沒興趣和他聊技術路徑路徑,開口說道,
“荷蘭的ASML正在和林本堅一起共同攻堅浸入式光刻技術。”
特殊的地點,但又是在境內,怎麼都好操作。
如果是真的,你也知道該怎麼使用,才能讓我的利益最大化。
此時跳出科研工作者的角度來看問題,他反而明白了過來。
ASML與尼康佳能的光刻機之戰,其實是一個弱者在走投無路之下,抱着‘光腳的不怕穿鞋的’的賭命心態進行絕地突圍的故事。
但,其實,誰特麼的不瞭解誰啊?
望着睜開眼睛的程進,雲帝笑了笑,“畢竟師生一場,我擔心以後你陰魂不散的,讓我晚上睡不着覺。
說罷,他拿出剪刀,將程進腿上的塑料紮帶也給剪掉了。
程進嗤笑了一聲,他表示,這個口號已經喊了20年了,至少在半導體產業來說,是越超越離世界頂尖水平越遠。
因爲乾式光刻機,所依賴的設備儀器,特別是光學器件太過高端,國內產業鏈發展不均衡,無法形成有效的支撐配合。
坐在車裡的卿雲沉默了幾秒,而後追出車外,衝着程進的背影喊了一聲,便是深深一躬。
但是浸入式不一樣,唯二欠缺的,只是193nm光源和193nm光刻膠,其他的,就算是空白領域,也很簡單。
他拍了拍面前的中控臺,繼續說着,“原本我的計劃裡,此刻就是送你上路的時間。只不過……”
二是科研的功利性,國內長期就沒有造光刻機的,那光源誰去研究?研究出來做什麼?
集中力量辦大事,這個本身就是抓大放小。
雲帝乜了他一眼,淡淡的說着,“這個日期,可以把你從摩托騾拉偷圖紙的行爲,解釋爲……你懂的。”
但那是十來年後的事情了。
言語間,程進將手裡的那本工作證遞還給了卿雲,“你幫我保管吧。”
所以,交給你了。”
看起來數值很低,但是,這裡面有個非常重要的因素,導入週期。
ASML能贏,並不在於林本堅的技術有多先進,而是在於林本堅給出了一個商業友好性極強的工藝方案。
他手指點了點照片,“林本堅,夷積電高級工程師,在當前193nm光刻光源停滯了二十多年無法突破下,去年提出了浸入式光刻技術,算是一個另闢蹊徑的發展方向。”
卿雲遞過去一張照片,“後天,荷蘭有一個半導體行業的峰會,我用炎黃集團的名義搞到了一張邀請函。
卿雲聞言沉吟了片刻,而後卻爲難的說着,“老實說,只能讓您遠遠的見一面。”
抽了一張紙巾擤擤鼻涕後,他吸了吸鼻子,臉上卻浮現起堅毅的神情,“需要我做什麼?”
“弟子卿雲,恭送老師!” шшш▪ttκa n▪℃o
熟知後事的卿雲很清楚,程進說的是對的。
程進活動活動身體後,望着卿雲手裡的紮帶,玩味的笑着,“你不怕我現在開門就跑?或者我現在開着車和你同歸於盡?”
半響,幾個青年男子便出現在程進車門一側。
但,不是沒有。
而最終,在DUV後,ASML還是走了波長13.5nm的EUV路徑。
而且,他的原生家庭,其實也是經商。
但這本身,是精細化工領域,這其實又是一個華國的強項,稍微一搗鼓就能出來的。
卿雲點了點頭,“具體怎麼做,有專業人士會教你的。”
程進聞言搖了搖頭,“沒用的,浸入式通過水滴折射確實可以跳過157nm,直接做到134nm波長,而後就會被65nm的最高生產分辨率給卡住,到時候怎麼辦?
小卿,光刻是要遵循瑞利公式的,λ爲光源波長、NA爲數值孔徑、k爲光刻工藝係數,三者共同決定投影式光刻機分辨率CD。
明珠港,剛剛好。
而且是不是真的,也只有你自己知道。
他聳了聳肩膀,“那就算了。”
而且事實證明,從某種意義上來說乾式是一條彎路。
卿雲見他這麼配合,也是徹底鬆了口氣,散了一支菸,護着火給他點燃,而後誠懇的說着,
卿雲見狀笑了笑,“我知道差的還很遠,但我們現在看得見對吧?但是如果他們走的慢一點,我們是不是差距就越小?
在送樣前光刻膠廠商需要購置光刻機用於內部配方測試,根據驗證結果調整配方,而光刻機設備昂貴,一次性投入較大,而光刻膠本身的市場天花板大約爲一百億美刀,這也是爲什麼過去國內光刻膠行業發展速度緩慢的原因。
程進將工作證在手裡拍了拍,“好吧,人間這一趟,也算值了。”
之前之所以出不來,一是‘造不如買’,和芯片一樣,沒有市場迭代。
讓光刻膠從14年整體市場規模20來個億美刀,到21年91.8億,國內的廠家做出了巨大的貢獻。
再之後,便是二次曝光技術,同樣是基於193nm的光源。
他只是一個趕鴨子上架的科研工作者。
“您放心,我不想做噩夢。”
所以,你不管怎麼折射,最終還是要通過光源的波長來解決問題。”
“打開看看!又不費你什麼事的。再說了,你一個將死之人,我犯得着騙你嗎?”
而且,老實說,你成爲烈士,我的利益可以最大化。”
卿雲翻了一個白眼,“是讓敵人陷入泥潭裡。”
這是一個極其微小的市場。
而光源和光刻膠,這兩樣,並沒有槓精想的那麼難。
也不管程進看不看的見,卿雲對着他搖了搖頭,“不是,坦率的說,是前兩天臨時起意的。”
說罷,他想了想,“我想見見我父母妻兒,見最後一面。”
程進沒有回頭,舉起手揮了揮,也沒說什麼,徑直上了車。
你說,作爲商人,我怎麼選?”
有錢有勢,便是話語權。
程進聞言皺起了眉頭,“怎麼是他?”
加之剛剛卿雲說的明珠港,程進瞬間便明白了計劃。
看着上面的日期,程進嘴脣哆嗦了起來。
程進笑了笑,“用我這個‘華國芯片之父’去,你小子肯定是想嫁禍他人,對吧?所以沒那麼粗糙的。”
後面兩個算是浪漫陣營,純理論研究,他們就沒想過產業化的事情。
卿雲定定地望着程進,“老師,如果他們賭成功了呢?”
而作假,其實他心裡也很清楚,遲早是要被揭穿的,只是一直不願意去面對現實而已。
但相比起照片上的人而言,這些都是細枝末節了。
對他來說,這是一筆交易。
放在科研界也是一樣的。
此時還是羣雄混戰時期,誰先突破,便是贏家通吃。
由於芯片製造過程中的光刻複雜多樣,不同的光刻過程以及同一光刻過程的不同廠家對光刻膠的需求都有所差異,光刻膠生產商需要調整光刻膠配方以滿足差異化需求。
正常情況下,如果不作假,他一輩子都沒可能給他兒子混這個待遇的。
卿雲衝他豎起了一根大拇指,而後緩緩的說着,“用毒針。”
你在明珠港轉機的時候,會遇見他,殺了他。”
程進也不廢話,下車跟着人便走。
肯讓他遠遠的見一面,卿雲也是要擔風險的。
程進也沒什麼沮喪的神色。
卿雲也不客氣,接過來揣回了衣兜,然後拍了拍,笑道,
事情公之於衆後,人們才知道這玩意兒早在冷戰時期就是特工的吃飯工具。
畢竟,論玩激光,華國客氣的說法,是祖宗級別,不客氣的說法,地球村在座的各位都是渣渣。
有錢有市場我能繼續出錢讓科研研究下去,沒錢我啥事都做不了。”
程進將菸蒂扔出了窗外,“現在該做什麼?”
且當時正處於我們融入全球產業鏈的過程中,老實說,別放馬後炮,當初幾乎所有人都不會想到有什麼卡脖子的事情出現。
卿雲淡淡的說道,“他死,我不敢說ASML永遠也研發不出來浸入式,事實上ASML和他已經合作了大半年了。
因爲經費根本不足以支撐他圓謊。
雲帝乜了他一眼,“認識?”
而他和卿雲都是喻於利的小人,這一點他是不會看錯的。
程進茫然的看着他,搖搖頭表示不知道,“但是技術路徑就在擺着啊,科研是要攻堅克難的。”
程進抹了抹臉龐,笑了,“謝謝!”
但特麼的光刻機豈止是光源問題?
程進回了一個白眼,“廢話!我也是幹這行的!雖然我確實水了點,但我畢竟是做科研的,行業領域內什麼新動向我還是知道的。”
說罷,他手指點了點程進手裡一直攥着的工作證,“多爲我小師弟想想。”
程進聞言嘶了一聲,他好像明白了點。
在 ASML推出浸入式 193nm產品的半年後,尼康也宣佈自己的 157nm產品以及 EPL產品樣機完成。
卿雲看了看錶,“現在您需要換車,跟着他們去機場坐飛機連夜飛明珠港。”
夜幕低垂,星辰點綴着蒼穹,彷彿在爲即將離去的程進送行。
而半導體產品就是這樣的特點,市場說了算。
卿雲圖的是在保全他自己的小利基礎上,努力在爭取國家或者民族的大利。
“這……這……”
卿雲聳了聳肩膀,“老師,我勸你別犯傻。”
說到這裡他頓了頓,“尼康他們之所以堅持157nm,是因爲他們已經在這上面投入了太多,他們回不了頭。
想到這裡,程進轉頭看向了卿雲,“具體細節呢?總不至於我拿刀去捅他吧?而且……”
程進聞言秒懂,“戴勝鳥那種?他一根,我一根?”
但這前提就是,他在這個行業裡的話語權。
拿起礦泉水抿了一口,卿雲繼續說着,“您說,從投入……或者說對當前工藝的改進角度看,走157nm還是走浸入式193nm容易?”
“1999年?”
他心裡也很清楚,這確實是爲難人了。
程進合上工作證將其雙手按在自己胸膛上,閉上了眼睛,不過眼淚卻從眼角處流了出來,喃喃的說道,“你早就算好了的。”
也就是說,從代際差距來看,此時我們和國際沒太大區別,對吧?”
然而,林本堅的浸入式屬於小改進大效果,產品成熟度非常高,所以幾乎沒有人去訂尼康的新品。
程進覺得自己牙齒有點疼。
彼時的ASML已經一家獨大,它的領先優勢可以隨意切換賽道,但此時的光刻機市場卻並非如此。
實現了惡趣味的雲帝,嘿嘿的笑着,提醒着他,“鋼印在哈,伱再看看日期。”
卿雲哂然一笑,“我們想要追趕別人,最好的法子是什麼?”
他雙手一攤,“193nm光刻工藝,全世界已經卡了20多年了,我們纔剛剛起步,去年華電科45所纔開始進行研究。
浸入式、浸沒式、浸潤式,其光源都是193nm激光器,隨後是根據瑞利公式的另一個參數:孔徑,來實現精度的提高。
世紀初曾經鬧得沸沸揚揚的,便是戴勝鳥薩摩的用毒針暗殺哈里德一事。
而ASML……現在半死不活的,他們在賭命。但是……”
說罷,他灑脫的笑了笑,“這玩意兒肯定不會讓我隨身攜帶。
我個人還是更看好尼康的乾式157nm技術路徑。”
“老師……您還有什麼心願?我能做的,我都會做。”
程進好笑的看了他一眼,“擔心今後晚上睡不着覺?”
卿雲在按圖索驥的情況下,甚至可以直接點名哪個單位來做哪樣。
他的疑惑有很多,比如怎麼殺,殺了之後他又該如何,當場自殺?
雖然他和卿雲接觸的時間很短。
說罷,他嘆了口氣,望着程進誠懇的說道,“老師,我能爲你做的,我都做了。”
說到這裡,他搖了搖頭,“但是,他的理論,並不被當前的市場所接受。去年提出的時候,沒有市場買單。
只是說,社會的毒打,讓程進很清楚,這個分類是中間地帶的,不是非此即彼的。
而且,這還是國內充當冤大頭,幾乎是幾倍價格購買的情況下的數字。
您也知道,浸入式相對於乾式的突破,難度係數很低,林本堅是想出了一個匪夷所思的鬼點子,而不是工藝上的革命,我們在現有的第三代基礎上跳跳腳,不是不能達到的。”
光刻機的分辨率與光源波長成正比,想要製造出更小的尺寸,就需要縮短光源的波長,這也是光刻機世代演變的核心。
否則以他的‘成就’,立馬評上院士都不爲過的,不用非得等40歲。
2021年全球半導體光刻膠市場規模加在一起,91.8億美元。
程進先是將工作證放在腿上,雙手在褲腿上用力的擦了擦,這才把工作證捧在手裡,仔細看着。
程進聞言又是一個白眼。
“彎道超車?”
紅光閃爍的車尾燈在夜色中漸漸模糊,最終消失在了黑暗的盡頭。
……