週日的早晨,天音芯片廠車間裡,段雲以及吳剛帶領的7名技術人員,還有那兩名荷蘭工程師,早早就等待了無塵車間的C區,準備對新生產線進行最後的測試。
吳剛等7名技術人員全部簽訂了保密協議,他們也是整個芯片廠幾十名技術人員中,少數有資格進入C區的工作人員。
因爲這4臺阿斯麥光刻機還屬於禁運產品,爲了不給阿斯麥公司造成麻煩,段雲對新生產線的消息進行了嚴格封鎖,並且將機器上的logo和標識全部刮除,重新刷上了一層防鏽漆,整個機器找不到關於廠家的任何標誌。
另外 C區連接目前東芝生產線的 A區只有一個產品通行傳輸帶,從東芝生產線生產出來的晶圓片會通過傳輸帶運到C區,經過光刻處理之後,再重新傳送到 A區,新車間非常的隱蔽,人員過道還加裝了磁卡門禁,這道門禁支持錄入20張磁卡,沒有磁卡的人是無法進入C區的。
“可以開始了嗎?”一切準備就緒之後,段雲對兩名荷蘭工程師問道。
“可以了。”文森特應了一聲,然後坐在控制檯上,輸入一串密碼後,啓動了光刻機。
相比於日本的東芝光刻機,阿斯麥的光刻機外觀看起來更加的緊湊,主要分爲三個部分,曝光臺,測量臺,以及擁有兩個顯示器的操作檯。
隨着操作檯主顯示器上一串代碼閃過之後,曝光臺開始發出了輕微的嗡鳴聲,緊接着圓晶片開始進入光刻階段。
這一刻在場的所有的人都屏住了呼吸,空氣彷彿都凝固了一般。
因爲沒有一微米制成芯片技術的掩膜,所以段雲採用的還是東芝公司三微米制程技術的flash閃存芯片掩膜,同時還有學習機上專用的仿製版6微米制程的6052芯片掩膜。
很快,10片圓晶片只用了不到5分鐘就完成了光刻程序,經過傳輸帶,傳回了 A區的生產車間,在那裡,這10片圓晶片還有經過蝕刻等一系列工序處理,最後進行成品率檢驗。
完成10片 Flash芯片圓晶片光刻處理之後,兩名阿斯麥的工程師又重新更換了掩膜,準備再加工20片6052仿製品的芯片。
6微米的製成技術還是上世紀70年代末的水平,因爲內部結構要比flash芯片簡單的多,所以加工效率也非常的高,20塊圓晶片只用了不到4分鐘就加工完成,自然在場的所有人,包括段雲在內,都感到了驚訝。
因爲之前用東芝的光刻機加工這種芯片,20塊圓晶片起碼需要8~9分鐘左右,而阿斯麥的這臺光刻機效率整整快了一倍。
在芯片領域,技術代差不僅僅意味着產品技術的提升,同時也代表着生產效率的提高以及成本的大幅降低,最早的6052芯片剛剛研發出來的時候,每一枚芯片的價格高達200美元,然而到了80年代中期的時候,這個價格卻變成了幾美元,便宜了將近百倍,其中最重要的原因就是先進的芯片生產線設備在生產低端芯片的時候,效率是非常驚人的,而且價格也非常的低廉。
不需要過多的說明,只是通過實地演示,在場的衆人就立刻看到了這4臺阿斯麥光刻機的價值。
儘管段雲的天音電子集團還沒有研發出基於一微米制程技術的芯片,然而即便是生產製成相對落後的 Flash閃存芯片,以及6052仿製芯片,也可以大幅度的降低成本和提高生產效率,同樣的芯片,阿斯麥的光刻機只需要用一半的時間就能完成,4臺光刻機同時啓動的話,將會把目前flash芯片的極限產量至少提高10倍以上,達到每天驚人的20萬枚芯片左右!
按照這個產量計算,段雲的芯片廠引入這4臺光刻機之後,月產量600萬枚 Flash芯片,年產量則高達7000多萬枚芯片!
其實在1988年的時候,中國的集成電路年產量剛剛達到1億塊,按照當時的通用標準,一個國家的集成電路產量達到1億塊,標誌着開始進入工業化大生產,美國在1966年的時候率先達到,日本隨後在1968年達到,這也就是說,現如今中國芯片的產量,只相當於日本和美國60年代中後期的水平,差距非常的大。
而段雲憑藉天音集團一己之力,就可以達到全國70%的芯片產量,這是個相當恐怖的壯舉。
可即便如此,和現如今芯片年產量突破5億片的東芝公司相比,段雲還不到人家的1/5,差距還是非常巨大的。
而且段雲的4臺光刻機還不能組成完整的生產線,其他的設備還需要引進購買,現在這個階段,只能夠生產一些製程技術比較低的芯片。
雖然有些無奈,不過也有好的一方面,那就是段雲還不會馬上暴露出他們天音集團擁有生產一微米制程芯片的能力,不會引起美日等國家的警覺。
另外段雲芯片研發組正在研發三微米制程技術的NAND芯片,如果這種芯片能夠研發成功,下一步就要開始研發一微米制程的儲存芯片,而到了那個時候,段雲就有機會和國際上的大廠商進行競爭。
20片圓晶片加工完成了之後,段雲等人轉而走向了檢驗室,等待芯片成品的誕生。
“段經理,咱們成功了!”
10多分鐘後,當吳剛拿着驗收報告出來後,臉上滿是興奮之色。
“合格率怎麼樣?”段雲連忙問道。
“ Flash圓晶片的成品率是94%,6052仿製芯片成品率是100%!”吳剛滿臉笑容的說道。
“100%!?”
聽到吳剛說出的芯片合格率,在場衆人都吃了一驚。
在芯片製造領域,是不存在100%的合格率,尤其是最頂級的芯片產品,一般能達到80%以上,就算合格了,而如果合格率在百分之以下,有可能就會賠錢。
用分辨率高的先進光刻機生產出來的低端芯片,往往有着很高的合格率,雖然不可能達到100%,但是卻可以無限接近這個數值。
20片圓晶片測試的基數還是太少,但不管如何,至少證明這4臺阿斯麥光刻機確實要比東芝的光刻機先進。
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