應用材料公司取得具有多個射頻網孔以控制等離子體均勻性的靜電卡盤專利
金融界2024年11月1日消息，國家知識產權局信息顯示，應用材料公司取得一項名爲“具有多個射頻網孔以控制等離子體均勻性的靜電卡盤”的專利，授權公告號 CN 111837231 B，申請日期爲 2019 年 2 月。
本文源自：金融界
作者：情報員
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