臺積電首臺ASML High NA EUV本月將進機？...

業界傳出，臺積電首臺ASML High NA EUV光刻系統設備傳本月將進機，由於該款逾4億歐元設備且因光鏡頭鏡片無法分拆入廠，高度比一間會議室還高且長度也遠超前一代設備，因規格特殊且精密，恐須機場或港口聯通的高速公路交管或特定深夜運送入廠避免交通不順。對於業界傳聞，ASML今日提到不評論單一客戶。臺積電則表示不迴應市場傳聞。（臺灣經濟日報）