東方晶源亮相SEMICON CHINA2021硬核技術展現半導體制造良率管理高水準

3月15日，SEMICON CHINA 2021中國國際半導體展在上海拉開帷幕。國內集成電路良率管理供應商東方晶源微電子科技（北京）有限公司如約而至亮相此次展會，帶來三款拳頭產品以及微電子設計與製造智能良率優化綜合解決方案，展現出國內設備廠商在該領域的高水準。

展會剛開始，前來東方晶源展臺的參觀者就絡繹不絕。很多半導體設備採購商都對其產品展現出濃厚的興趣並與技術、銷售人員進行深入的溝通和交流。據悉，多年以來東方晶源聚焦集成電路良率管理領域，推出了計算光刻軟件產品PanGen，以及納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）兩款硬件產品。此外，還創新的提出了前瞻性產品——微電子設計與製造智能良率優化平臺HPO™，爲行業良率管理實現質的飛躍提出了新的解決路徑。

值得一提的是，上述產品均爲東方晶源自主研發，突破了數項“卡脖子”技術難題，得到客戶的高度認可。不僅填補了國內市場空白，即便在國際市場上同樣具有競爭力。如此亮眼的成績與其雄厚的技術實力密不可分。

東方晶源微電子科技（北京）有限公司成立於2014年，自成立之初就確立了以圍繞電子束圖像檢測和良率提升軟件解決方案爲企業主攻方向。七年來在創始人俞宗強博士的帶領下，東方晶源研發團隊憑藉工程師精神和讓集成電路自主可控的使命感，披荊斬棘砥礪前行，短短几年間就申報了國內外發明專利99項，同時還承擔了三項國家科技02重大專項及一項工業和信息化部工業強基專項。可以說東方晶源是我國在電子束硅片圖形缺陷檢測、計算光刻、半導體制造過程質量控制等方面的中堅力量。

半導體是信息社會的基石，也是信息技術的重要基礎。未來，半導體自給自足對每個國家的重要性將不亞於以前的鋼鐵和能源。近年來隨着國際環境的多變，我國越來越意識到半導體產業自主可控的重要性，大力發展半導體產業的恆心、決心空前。可喜的是在半導體產業鏈上已經涌現出了一些像東方晶源這樣的企業，可以實現國產替代。相信在良好的政策、融資環境下，這些企業將實現快速騰飛，未來可期。