北京京儀自動化裝備技術股份有限公司取得廢氣處理設備專利,保證半導體生產線可持續穩定運行
金融界2024年12月2日消息,國家知識產權局信息顯示,北京京儀自動化裝備技術股份有限公司取得一項名爲“廢氣處理設備”的專利,授權公告號CN 222076282 U,申請日期爲 2023年12月。
專利摘要顯示,本申請提供一種廢氣處理設備,屬於廢氣處理的技術領域。廢氣處理設備包括:反應容器,其數量至少爲兩個;廢氣輸送組件,包括主控制閥以及備用控制閥;主控制閥設有輸入管路、主輸出管路和連接管路,被配置爲控制輸入管路與主輸出管路連通或輸入管路與連接管路連通;連接管路與備用控制閥連接,且備用控制閥設有備用輸出管路,被配置爲控制連接管路與備用輸出管路連通;其中,主輸出管路連接於其中一個反應容器,備用輸出管路連接於其中另一個反應容器。本申請提供的廢氣處理設備,在其中某一反應容器宕機時,可通過廢氣輸送組件將廢氣輸送至另一反應容器中繼續處理,保證半導體生產線可持續穩定的運行 。
本文源自:金融界
作者:情報員